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變位感測器／測長感測器選型一覽表（1.58 MB）
※ 選型一覽表的PDF檔，建議按滑鼠右鍵＂另存目標＂儲存檔案。
| 分類 | 變位感測器 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 判別 | |||||||||
| 檢測方式 | 雷射式 | 雷射式 | 雷射式 | 近接式 | 接觸式 | 超音波式 | |||
| 特長 | 以10μm級測量所有工件 | ・放大器內建型 ・最適合用於簡易測量 ・任何工件皆可穩定測量 ・4種距離變化 |
可測量任何材質 | 高精度測量磁性金屬 | 可實現非接觸式做不到的高精度穩定測量 | 可測量透明物體 | |||
| 任何人皆可輕鬆進行最佳設定 | 與光電感測器同等級的 小巧尺寸 |
・φ6mm的細度 ・10mm的長感測頭 |
・長距離 ・廣範圍 |
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| 型號 | ZX2 | ZX1 | ZX-L-N（ZX-LD） | ZX-E | ZX-T | E4PA-N | |||
| 外觀 |  |
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| 檢測距離 （測量範圍） |
擴散反射型 | 正反射型 (晶圓測量) |
－－ | 擴散反射型 | 正反射型 | －－ | －－ | －－ | |
| 50±10mm、 100±35mm |
48±5mm | 50±10mm、 100±35mm、 300±150mm、 600±400mm |
40±10mm、 100±40mm、 300±200mm |
30±2mm | 0～0.5mm、 0～1mm、 0～2mm、 0～4mm、 0～7mm |
0～1mm、 0～4mm、 0～10mm |
50～500mm、 120～2,000mm、 240～4,000mm、 400～6,000mm |
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| 解析度 | 最小 | 1.5μm | 1.5μm | 2μm | 2μm | 0.25μm | 0.25μm | 0.1μm | －－ |
| 最大 | 5μm | 80μm | 300μm | 2.8μm | 0.4μm | ||||
| 線性 | 最小 | ±0.05%F.S. | ±0.3%F.S. | ±0.15%F.S. | ±0.2%F.S. | ±0.2%F.S. | ±0.5%F.S. | ±0.04%F.S. | ±1%F.S. |
| 最大 | ±0.15%F.S. | ±0.5%F.S. | ±2%F.S. | ±1.0%F.S. | ±0.1%F.S. | ||||
| 測量週期 ＊ | 30μs | 30μs | － | 150μs | 150μs | 150μs | 1ms | 應答63～850ms | |
| 規格 | CE | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● |
＊測量週期記載的是最高性能。詳情請參閱各頁內容。
| 分類 | 變位感測器 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 高精度測量 | ||||||
| 檢測方式 | 白色同軸變位式 | 雷射式 | ||||
| 特長 | 最適合希望將白色同軸原理的優點套入生產線的顧客 | 可邊移動邊真實測量「粗面工件」的外觀 | 最適合測量薄膜片、玻璃等會顫動或傾斜的「透明物體、鏡面工件」 |
・高精度 ・超長範圍 ・可跟隨高速移動的工件 |
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| 型號 | ZW-5000 | ZW-7000 | ZW-8000 | ZS | ||
| 外觀 |  |
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| 檢測距離 （測量範圍） |
擴散反射型 | 正反射型 | ||||
| 7±0.3mm、 10±0.7mm、 10±0.5mm、 20±1mm、 30±2mm |
7±0.3mm、 10±0.7mm、 10±0.5mm、 20±1mm、 30±2mm、 40±3mm |
7±0.3mm、 10±0.7mm、 10±0.5mm、 20±1mm、 30±2mm |
50±5mm、 80±15mm、 100±20mm、 130±15mm、 200±50mm、 350±135mm、 600±350mm、 1500±500mm |
10±0.5mm、 15±0.75mm、 20±1mm、 25±2mm、 40±2.5mm |
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| 解析度 | 最小 | 0.004μm | 0.004μm | 0.002μm | 0.1μm | 0.001μm |
| 最大 | 0.016μm | 0.024μm | 0.008μm | 500μm | 0.4μm | |
| 線性 | 最小 | ±0.45μm | ±0.45μm | ±0.3μm | ±0.07%F.S. | ±0.05%F.S. |
| 最大 | ±2.0μm | ±3.0μm | ±1.3μm | ±0.25%F.S. | ±0.2%F.S. | |
| 測量週期 ＊ | 80μs | 20μs | 60μs | 110μs | 110μs | |
| 規格 | CE | ● | ● | ● | ● | ● |
| 分類 | 變位感測器 | 測長感測器 | ||
|---|---|---|---|---|
| 形狀測量 | 對照型 | |||
| 檢測方式 | 雷射式 | 雷射式 | ||
| 特長 | 以寬雷射光束，2維感測高低差、寬度、橫截面、傾斜等形狀 |
・CCD方式 ・可決定玻璃位置 |
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| 型號 | ZG2 | ZX-GT | ||
| 外觀 |  |
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| 檢測距離 （測量範圍） |
擴散反射型 | 正反射型 | ||
| 50±3mm （寬度8mm）、 100±12mm （寬度22mm）、 210±48mm （寬度70mm） |
22.3±0.5mm （寬度3mm） |
0～40mm （測量寬度28mm）、 0～500mm （測量寬度28mm） |
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| 解析度 | 最小 | 1μm（高度方向） | 0.2μm（高度方向） | 10μm |
| 最大 | 6μm (高度方向) |
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| 線性 | 最小 | ±0.1%F.S. | ±0.1%F.S. | ±0.1%F.S. |
| 最大 | ||||
| 測量週期 ＊ | 16ms | 16ms | 0.5ms | |
| 規格 | CE | ● | ● | ● |
＊測量週期記載的是最高性能。詳情請參閱各頁內容。
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