形狀 | 檢測方式 | 檢測距離 | 動作模態 | 導線長度 | 型號 |
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反射型 | 紅外線0~3mm | 有晶圓載具時ON | 2m | EE-SPY801 2M |
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EE-SPY802 2M |
晶圓載具底座感測器
更新日期 2015年8月8日
形狀 | 檢測方式 | 檢測距離 | 動作模態 | 導線長度 | 型號 |
---|---|---|---|---|---|
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反射型 | 紅外線0~3mm | 有晶圓載具時ON | 2m | EE-SPY801 2M |
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EE-SPY802 2M |
名稱 | 型號 |
---|---|
導軌 | EE9-C01 |
EE9-C02 |
更新日期 2015年8月8日